气体流量之检验系统及方法

摘要

一种气体流速检验设备，系供共用于复合工具半导体处理平台上。该气体流速检验设备系用来量测气压上升速率及测试容积内的温度，以判断相对应之气体流速。该设备包含第一及第二容积，其中该第二容积系大于该第一容积。该设备亦包含第一及第二气压量测装置，其中该第二气压量测装置可量测较高气压。根据欲量测之目标气体流速，该第一容积或第二容积均可被选择作为该测试容积，且可选择该第一或第二气压量测装置来量测在该测试容积内之气压。该设备可建构性实现了在宽广的气体流速范围内及以具有时间效率的方式进行准确的量测。