| 主权项 |
1.一种小流量液体的温度调整方法,其特征为: 加压通过供给路所供给的液体,并导入至循环路, 在其加压状态下,藉由泵浦使该循环路循环,并使 该液体介存于该循环路中的温度调整器中,进行温 度调整, 使经温度调整过的液体通过从上述循环路分歧出 来的吐出路,通过设置于该吐出路的吐出阀,以至 少流量小于上述循环路之流量的1/2的微少连续流 动或微少间歇流动,供给至外部装置。 2.如申请专利范围第1项之小流量液体的温度调整 方法,其中,通过上述供给路所供给的液体,为包含 超纯水的纯水或高折射率液体。 3.如申请专利范围第1或2项之小流量液体的温度调 整方法,其中,上述循环路的循环液流量为吐出路 的吐出液流量的2至20倍。 4.如申请专利范围第1或2项之小流量液体的温度调 整方法,其中,藉由设置于上述循环路中的杂质除 去手段,除去循环的液体中的杂质。 5.一种小流量液体的温度调整系统,其特征为具备 有: 包含与液体的供给源连接,且加压从该供给源所供 给的液体之调节器的供给路; 与该供给路连接,在其加压状态下,藉由泵浦使被 上述调节器加压的液体循环的循环路; 介存于上述循环路中,进行在该循环路循环的液体 的温度调整之温度调整器;以及 设置有吐出阀的吐出路,该吐出阀系从上述循环路 分歧出来,使在该循环路被温度调整的液体,以至 少流量小于该循环路之流量的1/2的微少连续流动 或微小间歇流动,供给至外部装置。 6.如申请专利范围第5项之小流量液体的温度调整 系统,其中,通过上述供给路所供给的液体,为包含 超纯水的纯水或高折射率液体。 7.如申请专利范围第5或6项之小流量液体的温度调 整系统,其中,以上述循环路的循环液流量成为吐 出液流量的2至20倍的方式,来设定吐出路的流量。 8.如申请专利范围第5或6项之小流量液体的温度调 整系统,其中,在上述循环路中介存有:除去循环的 液体中的微粒之过滤器、除去液体中的气体的真 空脱气装置、具有有机物的氧化功能之紫外线氧 化装置、以及除去离子化物质的离子交换装置中 的任一装置、或是此等装置中的任意之复数装置, 作为杂质除去手段。 9.如申请专利范围第5或6项之小流量液体的温度调 整系统,其中,于从与上述循环路的上述供给路之 连接点,朝向与上述吐出路之分歧点的往流路中, 介存上述温度调整器。 10.如申请专利范围第9项之小流量液体的温度调整 系统,其中,在上述往流路中的上述温度调整器的 上游侧,介存用以缓和液量变动、温度变动之干扰 的槽。 11.如申请专利范围第5或6项之小流量液体的温度 调整系统,其中,温度调整器系具备:藉由依据设置 于比该温度调整器更下游侧的温度检测器加以控 制的珀耳帖(Peltier)元件,进行温度控制的热交换器 。 12.如申请专利范围第5或6项之小流量液体的温度 调整系统,其中,藉由双重管式热交换器形成上述 吐出路,在其外管连接将循环温调水温度调整为与 上述温度调整器相同温度的双重管式热交换器用 的温度调整循环装置。 13.如申请专利范围第5或6项之小流量液体的温度 调整系统,其中,藉由双重管式热交换器形成上述 吐出路,在其外管连接使在前述循环路流动的液体 之全部或一部分流动的配管。 图式简单说明: 第1图系显示本发明的温度调整系统的第1实施例 之区块构成图。 第2图系上述第1实施例之变形例的区块构成图。 第3图系藉由双重管式热交换器形成上述第1实施 例的吐出路之第2实施例的区块构成图。 第4图系藉由双重管式热交换器形成上述第1实施 例的吐出路之与上述第2实施例互异之保温方式的 第3实施例的区块构成图。 第5图系显示在上述各实施例中所使用的温度调整 器的构成例之区块构成图。 |
