发明名称 |
具有高灵敏度的光电型探测器 |
摘要 |
本发明涉及具有高灵敏度的光电型探测器,包括:由硅衬底和在硅衬底上的光响应材料层做成的芯片,所述的光响应层为外延生长在硅衬底上的掺杂钛酸钡薄膜层;第一电极设置在掺杂钛酸钡薄膜上,第二电极设置在与空气接触的硅衬底面上,两根电极引线的一端分别与第一电极和第二电极连接,电极引线的另一端是信号输出端,电阻的两端分别和两根电极引线的信号输出端连接。该探测器均为光生伏特型光电探测器,当光照射后直接产生电压信号,不需要任何外加辅助的电源和电子电路。其响应波段从紫外到远红外,激光脉冲产生光生伏特脉冲的前沿为~1ns,半宽度~2ns。 |
申请公布号 |
CN1869611A |
申请公布日期 |
2006.11.29 |
申请号 |
CN200510071810.7 |
申请日期 |
2005.05.24 |
申请人 |
中国科学院物理研究所 |
发明人 |
黄延红;吕惠宾;赵昆;何萌;金奎娟;陈正豪;周岳亮;杨国桢 |
分类号 |
G01J1/42(2006.01);G01J9/00(2006.01);G01J11/00(2006.01) |
主分类号 |
G01J1/42(2006.01) |
代理机构 |
北京泛华伟业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
高存秀 |
主权项 |
1.一种具有高灵敏度的光电型探测器,包括:由硅衬底(1)和在硅衬底(1)上的光响应材料层(2)做成的芯片,第一电极(3)、第二电极(4)和引线(6);其特征在于:还包括一电阻(5);所述的光响应层(2)为外延生长在硅衬底(1)上的掺杂钛酸钡薄膜层,其中光响应层(2)的厚度为0.8nm~2μm;第一电极(3)设置在光响应层(2)上,第二电极(4)设置在硅衬底(1)面上,两根电极引线(6)的一端分别与第一电极(3)和第二电极(4)连接,电极引线(6)的另一端是信号输出端,电阻(5)的两端分别和两根电极引线(6)的信号输出端连接。 |
地址 |
100080北京市海淀区中关村南三街8号 |