| 发明名称 |
Systeem en werkwijze voor het gebruik van een zijdelings gemonteerde interferometer voor het verwerven van positie-informatie. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL1028349(C2) |
申请公布日期 |
2006.11.27 |
| 申请号 |
NL20051028349 |
申请日期 |
2005.02.18 |
| 申请人 |
AGILENT TECHNOLOGIES INC. A DELAWARE CORPORATION |
发明人 |
WILLIAM CLAY SCHLUCHTER;LOUIS F. MUELLER;DOUGLAS P. WOOLVERTON;JEFFREY A. YOUNG;ALAN B. RAY;DAVID C. CHU |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68;(IPC1-7):G01B9/02 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
