| 发明名称 |
KONTINUIERLICHE ABSCHEIDUNG EINES ISOLIERENDEN MATERIALS MITTELS MEHRERER UNTER ALTERNIEREND POSITIVER UND NEGATIVER SPANNUNG STEHENDER ANODEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69835363(T2) |
申请公布日期 |
2006.11.23 |
| 申请号 |
DE19986035363T |
申请日期 |
1998.05.26 |
| 申请人 |
ADVANCED ENERGY INDUSTRIES INC. |
发明人 |
SCHATZ, S.;SCHOLL, A. |
| 分类号 |
H01J37/34;H05H1/46;C23C14/34;H01L21/316 |
主分类号 |
H01J37/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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