发明名称 apparatus for cooling a plate in a semiconductor fabricating and method for producting a plate having a cooling line
摘要
申请公布号 KR100648630(B1) 申请公布日期 2006.11.23
申请号 KR20000056365 申请日期 2000.09.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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