摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur optischen Detektion eines Objekts (2). Die Vorrichtung umfasst eine Lichtquelle (3a, 3b), einen Beleuchtungsstrahlengang (4), einen Detektionsstrahlengang (5), eine Abbildungsoptik (6) und eine Detektionseinrichtung (7). Ein Objekt (2) ist mit Licht der Lichtquelle (3a, 3b) beleuchtbar. Die Abbildungsoptik (6) ist im Detektionsstrahlengang (4) angeordnet. Mit der Abbildungsoptik (6) ist vom Objekt (2) kommendes Licht auf die Detektionseinrichtung (7) abbildbar. Der Gesamtfehler der optischen Abbildung der Vorrichtung (1) soll reduziert und idealerweise minimiert werden. Hierzu weist die erfindungsgemäße Vorrichtung (1) ein Verstellmittel (18) auf, mit welchem zumindest eine im Beleuchtungsstrahlengang (4) und/oder im Detektionsstrahlengang (5) angeordnete abbildende optische Komponente (6, 8, 9, 10, 11, 13, 15, 16, 17) - insbesondere die Abbildungsoptik (6) - um ihre jeweilige optische Achse drehbar angeordnet und/oder gegenüber der optischen Achse des Strahlengangs (4, 5), in welchem die optische Komponente (6, 8, 9, 10, 11, 13, 15, 16, 17) angeordnet ist, verkippbar und/oder in einer Richtung quer zur optischen Achse translatierbar angeordnet ist, um bei einer verdrehten, verkippten und/oder translatierten Einstellung mit der optischen Komponente (6, 8, 9, 10, 11, 13, 15, 16, 17) ein Objekt (2) zu detektieren. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum optischen Detektieren eines ...
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