非易失性半导体存储装置

摘要

一种非易失性半导体存储装置，其中，一个单位单元由以下部件构成：配置在基板上的第1区域的选择栅(3(3a～3i))；配置在与第1区域相邻的第2区域的浮栅(6)；与第2区域相邻并被设置在基板(1)表面上的第3区域的扩散区域(7b)；和配置在浮栅上的控制栅(11)，选择栅(3)在由所有的单位单元构成的擦除块内被分割为3个以上，所述单位单元在进行擦除动作时，同时从所述浮栅引出电子，分割后的各选择栅(3a～3i)从相对平面的法线方向观察，被形成为多个梳齿部分从公共线延伸的梳状，选择栅(例如3b)的梳齿部分，在相邻的选择栅(例如3a、3c)的梳齿间隙内隔开规定的间隔而被配置。从而实现了读出的高速化。

主权项

1、一种非易失性半导体存储装置，其中，一个单位单元由以下部件构成：经由第1绝缘膜而被配设在基板上的第1区域的选择栅；经由第2绝缘膜而被配设在与所述第1区域相邻的第2区域的浮栅；与所述第2区域相邻并被设置在所述基板表面上的第3区域的扩散区域；和经由第3绝缘膜而被配设在所述浮栅上的控制栅；所述选择栅，在由所有的单位单元构成的擦除块内被分割成3个以上，所述单位单元在对擦除块的所有单位单元进行擦除动作时，同时从所述浮栅引出电子，分割后的各个所述选择栅，从相对平面的法线方向观察，被形成为多个梳齿部分从公共线延伸的梳状，分割后的第1所述选择栅的梳齿部分，在相邻的第2所述选择栅的梳齿间隙内隔开规定的间隔而被配置。