速率可调整之扫瞄光致电流显微装置

摘要

本发明系关于一种速率可调整之光致电流显微装置，包括：一光源、一光调变器、一平台、一光扫描器、一锁相放大器及一处理单元。该光调变器系利用一调变频率以调变该光源产生之雷射光束。该光扫描器系接受来自该光调变器之光束，并调整其扫描速率，以产生一扫描光束，聚焦至平台上之一待测物，使该待测物因光电效应产生一电流。该锁相放大器系用以接受该电流及该调变频率，而产生一光致电流讯号。该处理单元接受该光致电流讯号，以得到一光致电流影像。藉此，可依该待测物之光电反应时间而调整扫描速度，因此拥有高讯噪比之影像品质及拥有适用于量测各种不同光电效应待测物之特性，达成在量测上更宽广的应用。

主权项

1.一种光致电流显微装置,包括: 一光源,用以产生一雷射光束; 一光调变器,利用一调变频率以调变该雷射光束, 产生一具有参考频率之光束; 一平台,用以置放一待测物,该待测物具有一光电 反应时间; 一光扫描器,接受来自该光调变器之光束,并调整 其扫描速率,以产生一扫描光束,聚焦至该待测物 上依所选定之扫描速度扫描,使该待测物因光电效 应产生一电流; 一锁相放大器,分别与该平台及该光调变器电气连 接,用以接受该电流及该调变频率,而产生一光致 电流讯号;及 一处理单元,与该锁相放大器电气连接,其系接受 该光致电流讯号,以得到一光致电流影像。 2.一种光致电流显微装置,包括: 一光源,用以产生一雷射光束; 一光调变器,利用一调变频率以调变该雷射光束, 产生一具有参考频率之光束; 一平台,用以置放一待测物,该待测物具有一光电 反应时间; 一光扫描器,接受来自该光调变器之光束,并调整 其扫描速率,以产生一扫描光束,聚焦至该待测物 上依所选定之扫描速度扫描,使该待测物因光电效 应产生一电流; 一偏压装置,电气连接至该待测物,用以输入一特 定偏压至该待测物; 一转换器,具有一输入端及一输出端,该输入端系 接受该待测物因光电效应产生之电流及该偏压装 置所产生之特定偏压,该输出端系感应出一隔离电 流; 一锁相放大器,分别与该转换器及该光调变器电气 连接,用以接受该隔离电流及该调变频率,而产生 一光致电流讯号;及 一处理单元,与该锁相放大器电气连接,其系接受 该光致电流讯号,以得到一光致电流影像。 图式简单说明: 图1显示本发明速率可调整之扫描光致电流显微装 置之第一实施例之示意图;及 图2显示本发明速率可调整之扫描光致电流显微装 置之第二实施例之示意图。