高分子化合物、正型光阻组成物及光阻图型之形成方法

摘要

本发明为提供一种光阻组成物，其为含有，由下述式(A0-1)、(A0-2)、(A0-3)或(A0-4)〔式中，R为氢原子或低级烷基〕所示结构单位所成群中所选出之至少1种结构单位(a0)，与具有酸解离性溶解抑制基之(α-低级烷基)丙烯酸酯所衍生之结构单位(a1)的高分子化合物。

主权项

1.一种高分子化合物,其特征为含有,由下述式(A0-1) 、(A0-2)、(A0-3)或(A0-4)[式中,R为氢原子或低级烷基] 所示结构单位所成群中所选出之至少1种结构单位 (a0),与具有酸解离性溶解抑制基之(-低级烷基) 丙烯酸酯所衍生之结构单位(a1)