适用于半导体元件制造的系统

摘要

一种适用于半导体元件制造的系统。此系统包括电化学制程工具及影像感应器。电化学制程工具包括一位于平台中间区域的电极。当使用此工具对一晶圆进行制程期间，电极适用于接触晶圆。当电化学制程工具为可操作的组合时，至少部分电极可自平台上方目视。影像感应器捕捉此电极可视部分的影像。此影像感应器设置于平台上方。当电极的影像为影像感应器所撷取时，影像感应器瞄准电极。