图案修正装置、图案修正方法及图案修正单元

摘要

〔课题〕提供可以简单的构成迅速修正缺陷部的图案修正装置。〔解决手段〕在此图案修正装置中，在待机状态时，使涂布针前端部19a浸渍在修正液17中。在涂布时，汽缸部20使驱动轴20a下降的话，涂布针19自容器18的孔18b突出。在涂布针前端部19a附着修正液17a。其次，涂布汽缸13使驱动轴13a下降，使涂布针前端部19a接触基板22的缺陷部22a，在缺陷部22a涂布修正液17a。因而，如知般使涂布针在缺陷部和墨水槽之间来回的制程被省略。