成膜装置之光罩对位机构以及成膜装置

摘要

〔课题〕提供使光罩的对位容易的成膜装置之光罩对位机构以及成膜装置。〔解决手段〕成膜装置之光罩对位机构系在成膜装置内将光罩夹22配设，在上述光罩夹22承载上述光罩26时的成膜装置之光罩26对位机构，上述光罩夹22系具有对应于上述光罩26的缘部且自上述光罩26的侧方被延设的延设部22a、以及在上述延设部22a被设置的嵌合销22b，上述光罩26系为具备在其上述缘部与上述光罩夹22的上述嵌合销22b嵌合的嵌合孔26c的构成。