基板检查装置、其检查逻辑设定方法以及检查逻辑设定装置

摘要

本发明提供可自动产生使用于基板检查之检查逻辑之技术。本发明之检查逻辑设定装置系取得将应藉由检查检测出之零件摄像而得之复数第1图像及将应藉由检查除外之零件摄像而得之复数第2图像，将前述复数第1图像及第2图像之各个图像分割成复数区块，依各前述区块算出前述复数第1图像与前述复数第2图像间之色距离，由前述复数区块中选择1个以上之色距离相对较大之区块，将所选择之区块设定作为区域条件。