新型超高真空系统传样装置

摘要

本实用新型公开了一种新型超高真空系统传样装置，包括：样品托、传样杆和样品接收台，样品托包括长方体型钼托、两个中空的钼螺钉和凹型绝缘衬片，钼托两端开有通孔，用于安装钼螺钉，该钼托下部的中间部分有一凸台，凸台开有与传送杆相配的螺纹孔，钼螺钉通过钼螺母和所述钼托相固定，钼螺钉的螺帽下端穿有第一电极，用于与绝缘衬片一起固定样品并给样品导入电流，第一电极与钼托之间和螺母与钼托之间还分别设置有绝缘环。本实用新型兼容性更好，因此半导体、绝缘体、金属等不同样品都可使用本实用新型在超高真空扫描隧道显微镜系统、分子束外延系统、极端条件电输运测试系统及其联合系统中进行样品的传送和处理。

主权项

1、一种新型超高真空系统传样装置，包括：样品托、传样杆和样品接收台，其特征在于，所述样品托包括钼托、两个中空的钼螺钉和绝缘衬片，所述钼托两端开有通孔，用于安装所述钼螺钉，该钼托下部的中间部分有一凸台，所述凸台开有螺纹孔，所述钼螺钉通过钼螺母和所述钼托相固定，所述钼螺钉的螺帽下端穿有第一电极，用于与所述绝缘衬片一起固定样品并给样品导入电流，所述第一电极与钼托之间和所述螺母与钼托之间还分别设置有绝缘环；所述传样杆包括磁力杆和传样杆头，传样杆头的一端为与所述螺纹孔相配的螺杆，另一端与所述磁力杆相固定；所述样品接收台包括导电接头和接收台主体，所述接收台主体为一与所述样品托外形相配的两端开口的盒体，所述样品托通过所述传样杆可置于该主体内，所述导电接头安装在该主体内，并可插入所述钼螺钉中心开的孔内。