| 发明名称 | 接地屏蔽件及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种接地屏蔽件，其包括位于电介质层内的“奶酪式”金属和位于所述奶酪式金属之上第一金属层面内的金属区域。所述接地屏蔽件根据所使用的金属可具有不同形式，且进行设置从而防止铜(Cu)用作该接地屏蔽件的奶酪式金属中的金属时的扩散。该接地屏蔽件与标准的生产线后端(BEOL)集成结合在用于无源RF元件的第一金属(M1)层面提供低电阻的、很厚的金属。本发明还包括形成接地屏蔽件的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1862805A | 申请公布日期 | 2006.11.15 |
| 申请号 | CN200610077209.3 | 申请日期 | 2006.04.30 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 安东尼·K·斯坦伯;阿尔文·J·约瑟夫;米特·厄特克 |
| 分类号 | H01L23/552(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/768(2006.01) | 主分类号 | H01L23/552(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李晓舒;魏晓刚 |
| 主权项 | 1.一种结构，包括：衬底，其具有位于其上的电介质层；金属层面，其位于所述电介质层之上；以及接地屏蔽件，其包括：奶酪式金属，其位于所述电介质层内，以及金属区域，其位于所述奶酪式金属之上所述金属层面内。 | ||
| 地址 | 美国纽约阿芒克 | ||