| 发明名称 |
Method of forming silicon thin film and silicon thin film solar cell |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002232197(C1) |
申请公布日期 |
2006.11.09 |
| 申请号 |
AU20020232197 |
申请日期 |
2002.02.15 |
| 申请人 |
KANEKA CORPORATION |
发明人 |
TAKASHI SUEZAKI;EIJI KURIBE |
| 分类号 |
C23C16/24;C03C17/00;C03C17/22;C23C16/458;H01L21/205;H01L31/04;H01L31/18 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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