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Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von Organylhydrogensilanen, bei dem eine Komproportionierungsreaktion der Gleichung (1) DOLLAR A Z R¶a¶SiCl¶4-a¶ + SiH¶b¶Cl¶4-b¶ ----> Z R¶a¶SiHCl¶3-a¶ + SiH¶b-y¶Cl¶4-b+y¶ DOLLAR A in Anwesenheit eines Katalysators, der mindestens eine vollständig organisch substituierte Ammonium- oder Phosphonium-Einheit enthält, durchgeführt wird, wobei DOLLAR A R ein gegebenenfalls halogensubstituierter Alkyl-, Aryl- oder Alkarylrest, DOLLAR A a die Werte 1, 2 oder 3, DOLLAR A y und z die Werte 1, 2, 3 oder 4 und DOLLAR A b die Werte 2, 3 oder 4 bedeuten.
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