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发明名称 MEMS SCANNING SYSTEM WITH IMPROVED PERFORMANCE
摘要
申请公布号 EP1719012(A2) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 EP20050722864 申请日期 2005.02.09
申请人 MICROVISION, INC. 发明人 SPRAGUE, RANDALL, B.;YAN, JUN;TAUSCHER, JASON, B.;DAVIS, WYATT, O.;LEWIS, JOHN, R.;BROWN, DEAN, R.;MONTAGUE, THOMAS, W.;BROWN, CHANCELLOR, W.
分类号 B81C1/00;B81B3/00;G02B26/08;G02B26/10;H01L21/78;H04N1/04 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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