发明名称 一种防护涂层及其制备方法
摘要 一种防护涂层,选用TiAl合金(含Al原子百分比为10%~30%)和纯Ti为靶材。所述涂层是施加中间层的TiAlN/TiN梯度涂层。其中:TiN合金涂层(2)直接沉积在基体(1)表面,然后在其表面依次沉积TiAl<SUB>10</SUB>N层(3)、TiAl<SUB>20</SUB>N层(4)及TiAl<SUB>30</SUB>N层(5)。本发明一种防护涂层的制备方法:首先在基体(1)表面制备TiN合金涂层(2);然后在其表面依次沉积TiAl<SUB>10</SUB>N层(3)、TiAl<SUB>20</SUB>N层(4)及TiAl<SUB>30</SUB>N层(5)。本发明通过不同成分靶材和工艺参数的控制,解决了阻碍涂层应用于防腐领域的针孔、空洞及涂层之间的元素互扩散,结合力问题。
申请公布号 CN1858295A 申请公布日期 2006.11.08
申请号 CN200510046367.8 申请日期 2005.04.30
申请人 中国科学院金属研究所 发明人 谢冬柏;辛丽;朱圣龙;冯长杰;王世臣;王福会;李明升
分类号 C23C14/06(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C14/46(2006.01) 主分类号 C23C14/06(2006.01)
代理机构 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 代理人 张晨
主权项 1、一种防护涂层,其特征在于:所述涂层是多层TiAlN/TiN涂层。
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