发明名称 |
一种防护涂层及其制备方法 |
摘要 |
一种防护涂层,选用TiAl合金(含Al原子百分比为10%~30%)和纯Ti为靶材。所述涂层是施加中间层的TiAlN/TiN梯度涂层。其中:TiN合金涂层(2)直接沉积在基体(1)表面,然后在其表面依次沉积TiAl<SUB>10</SUB>N层(3)、TiAl<SUB>20</SUB>N层(4)及TiAl<SUB>30</SUB>N层(5)。本发明一种防护涂层的制备方法:首先在基体(1)表面制备TiN合金涂层(2);然后在其表面依次沉积TiAl<SUB>10</SUB>N层(3)、TiAl<SUB>20</SUB>N层(4)及TiAl<SUB>30</SUB>N层(5)。本发明通过不同成分靶材和工艺参数的控制,解决了阻碍涂层应用于防腐领域的针孔、空洞及涂层之间的元素互扩散,结合力问题。 |
申请公布号 |
CN1858295A |
申请公布日期 |
2006.11.08 |
申请号 |
CN200510046367.8 |
申请日期 |
2005.04.30 |
申请人 |
中国科学院金属研究所 |
发明人 |
谢冬柏;辛丽;朱圣龙;冯长杰;王世臣;王福会;李明升 |
分类号 |
C23C14/06(2006.01);C23C14/34(2006.01);C23C14/46(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/06(2006.01) |
代理机构 |
沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 |
代理人 |
张晨 |
主权项 |
1、一种防护涂层,其特征在于:所述涂层是多层TiAlN/TiN涂层。 |
地址 |
110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号 |