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发明名称 SUBSTRATE SUPPORT SYSTEM FOR REDUCED AUTODOPING AND BACKSIDE DEPOSITION
摘要
申请公布号 EP1719167(A2) 申请公布日期 2006.11.08
申请号 EP20050723054 申请日期 2005.02.11
申请人 ASM AMERICA, INC. 发明人 STOUTYESDIJK, JEROEN;AGGARWAL, RAVINDER;HALPIN, MIKE;KEETON, TONY;GOODMAN, MATT;HAWKINS, MARK;HAEN, LEE;FERRO, ARMAND;BRABANT, PAUL, D.;VYNE, BOBBY;BARTLETT, GREGORY, M.;ITALIANO, JOSEPH, P.;HARO, BOB
分类号 H01L21/68;C23C16/00;C23C16/458;C30B25/12;C30B25/14;H01L21/00;H01L21/687 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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