发明名称 | 光敏性树脂组合物,光敏性元件,防蚀图形及其制法和叠层基板 | ||
摘要 | 本发明公开了一种光敏树脂组合物,该组合物包含(A)光敏性树脂、(B)光聚合引发剂和(C)阻燃剂,其中阻燃剂化合物中的卤原子或锑原子的含量为5重量%以下;以及,利用该光敏树脂组合物的光敏性元件、防蚀图案的制造方法、防蚀性图案和防蚀性图案的叠层基板。 | ||
申请公布号 | CN1284046C | 申请公布日期 | 2006.11.08 |
申请号 | CN200410074276.0 | 申请日期 | 2000.10.23 |
申请人 | 日立化成工业株式会社 | 发明人 | 佐藤邦明;沓名贵彦;吉野利纯;平山隆雄;鹈沢干夫 |
分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/008(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郝庆芬 |
主权项 | 1.一种光敏性树脂组合物,其为包含(A)光敏性树脂、(B)光聚合引发剂、(C2)有机氮类化合物和(C4)有机磷类化合物的光敏性树脂组合物,其中,所述(C2)有机氮类化合物是三吖嗪类化合物,所述(C4)有机磷类化合物是磷酸酯类化合物。 | ||
地址 | 日本东京都 |