发明名称 Verfahren zur Herstellung integrierter Schaltkreise mit mindestens einem Silizium-Germanium-Heterobipolartransistor
摘要
申请公布号 DE102005004708(B4) 申请公布日期 2006.11.02
申请号 DE200510004708 申请日期 2005.02.02
申请人 ATMEL GERMANY GMBH 发明人 BRANDL, PETER
分类号 H01L21/8222;H01L21/3105;H01L29/737 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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