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发明名称 SUBSTRATE HEATING APPARATUS AND APPARATUS FOR CARRYING IN THE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100642030(B1) 申请公布日期 2006.11.02
申请号 KR20000013061 申请日期 2000.03.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/683;G02F1/1333;H01L21/26;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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