| 主权项 |
1.一种微球透镜与其阵列之制造方法,系包含下列步骤:预备步骤:准备单一或阵列图案为圆形之光罩,以便于制作透镜之形状;制作铁氟龙薄膜步骤:将液体铁氟龙(PTFE)以预定转速均匀地旋涂于基板上,并经由适当烤乾完成铁氟龙(PTFE)薄膜:微影成型步骤:将光阻以预定转速均匀旋涂于铁氟龙(PTFE)薄膜上形成光阻薄膜,并经由适当软烤,以及利用紫外光透过上述光罩在光阻薄膜上进行曝光后施予显影,即完成单一或阵列微圆柱结构;熔融制程:将微圆柱结构适当加热至光阻之玻璃转换温度,使微圆柱结构热融回流,即可获得单一微球透镜或微球透镜阵列。2.依申请专利范围第1项所述之微球透镜与其阵列之制造方法,其中该液体铁氟龙(PTFE)均匀涂布于基板上后,系将基板以两段转速分别为300rpm、10sec与400rpm、40sec进行旋涂制程,再利用热垫板以参数为110℃、10min,以及165℃、10min与265℃、15min进行烤乾制程,而完成铁氟龙(PTFE)薄膜。3.依申请专利范围第1项所述之微球透镜与其阵列之制造方法,其中该光阻系采用AZ4620光阻。4.依申请专利范围第1项所述之微球透镜与其阵列之制造方法,其中该光阻均匀涂布于铁氟龙(PTFE)薄膜上后,系将基板以两段转速分别为300rpm、10sec与600rpm、25sec进行旋涂制程,并获得平均膜厚约15m之光阻薄膜。5.依申请专利范围第1项所述之微球透镜与其阵列之制造方法,其中该光阻薄膜之软烤制程系依次在热垫板(Hot Plate)中软烤90℃、5分钟,以及在烤箱(Oven)中软烤90℃、2分钟。6.依申请专利范围第1项所述之微球透镜与其阵列之制造方法,其中该光阻薄膜系以近紫外光为350nm~400nm之曝光机进行曝光制程,且曝光剂量约为500mJ~650mJ之间。7.依申请专利范围第1项所述之微球透镜与其阵列之制造方法,其中该光阻薄膜之显影时间为10~15分钟。8.依申请专利范围第1项所述之微球透镜与其阵列之制造方法,其中该微圆柱结构系以烤箱(Oven)进行热融制程,其参数为120℃、10分钟,160℃、10分钟。图式简单说明:第一图系本发明微球透镜结构之制作流程方块图。第二图系本发明微球透镜结构之光罩示意图。第三图系本发明之液体铁氟龙(PTFE)之涂布示意图。第四图系本发明之液体铁氟龙(PTFE)涂布后示意图。第五图系本发明之光阻涂布示意图。第六图系本发明之光阻涂布后示意图。第七图系本发明之曝光示意图。第八图系本发明之微影成形后示意图。第九图系本发明以烘烤热融结构之示意图。第十图系本发明之微球透镜结构图。第十一图系本发明之实际微球透镜结构图。 |
