| 摘要 |
一种电浆处理装置，藉由使基底容纳于处理室内，而执行电浆处理，其中，由陶瓷制的固定导引件12与移动导引件13是以X方向(基底运送方向)配置，用以导引固持在一陶瓷制安装板10上的基底之两端部，并且，移动导引件13的两端部是被支撑构件所支撑。在此结构中，这些支撑构件是装配至Y方向上设置的固定构件15A与15B，而以安装板10放置在两者之间，致使能调整在Y方向上的间隔。因此，可以安装及拆卸陶瓷制导引构件13，而不需要直接使用螺栓接合，且可以使用具有不同的宽度尺寸的多数个制品薄型基底作为目标物，来防止不正常放电的产生。 |
