一种快速通电加热成膜处理装置

摘要

本实用新型提供了一种快速通电加热成膜处理装置。本实用新型特征在于由电流温度曲线控制系统、矫直拉力调节系统、红外测温系统、保温系统和循环水冷系统组成；其中，电流温度控制系统一端与红外测温系统和保温系统相连，另一端与矫直拉力控制系统相连接；循环冷却系统和加热炉相关的电极相连，矫直拉力系统的另一端是通过电气比例阀与电极的下夹具连接的。本实用新型应用多段曲线加热和小拉力矫直等手段，并采用温度反馈引导的电流控制的控制系统，能够实现通电加热成膜过程的自动控制。主要应用于硅钼棒、硅碳棒发热元件及自保护型金属间化合物棒状型材的加热成膜处理。

主权项

1.一种快速通电加热成膜处理装置，其特征在于由电流温度曲线控制系统、矫直拉力调节系统、红外测温系统、保温系统和循环水冷系统组成；其中，电流温度控制系统一端与红外测温系统和保温系统相连，另一端与矫直拉力控制系统相连接；循环冷却系统和加热炉相关的电极相连，矫直拉力系统的另一端是通过电气比例阀与电极的下夹具连接的。