发明名称 涂覆硬质被膜工具
摘要 本发明的涂覆硬质被膜工具具有以下特征:在使B的细微氮化物粒子分散的TiB系硬质被膜涂覆的工具中,通过硬质被膜的ESCA分析可以确认B和N的结合能,通过硬质被膜的拉曼分光光度分析检测c-BN和/或h-BN,c-BN的峰值强度Q<SUB>1</SUB>和h-BN的峰值强度Q<SUB>2</SUB>之比Q<SUB>1</SUB>/Q<SUB>2</SUB>为1.0以上,X线衍射的(200)面的半值宽度Z在0.3°~0.6°的范围内,工具的前刀面的膜厚K和后刀面的膜厚L之比K/L为1.0以上,而且,上述硬质被膜具有高的硬度及润滑性,可以抑制与加工物的化学反应,耐月牙洼磨损性优良。
申请公布号 CN1282766C 申请公布日期 2006.11.01
申请号 CN02154560.X 申请日期 2002.11.07
申请人 日立工具股份有限公司 发明人 久保田和幸;岛顺彦
分类号 C23C30/00(2006.01);C23C14/16(2006.01);C23C14/34(2006.01) 主分类号 C23C30/00(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 范明娥;张平元
主权项 1.涂覆硬质被膜的工具,在涂覆由含有金属元素Ti及B的氮化物、碳氮化物、氧氮化物及氧碳氮化物的任一种构成的硬质被膜的工具中,上述硬质被膜含有B的氮化物相,上述硬质被膜的X线衍射中的(200)面的半值宽度Z在0.3°~0.6°的范围内;由上述硬质被膜的ESCA分析确认了B和N的结合能,而且由上述硬质被膜的拉曼分光光度分析检测了c-BN和h-BN的峰值;c-BN的峰值强度Q1和h-BN的峰值强度Q2之比Q1/Q2为1.0或1.0以上,且以全部金属元素作为100原子%,上述硬质被膜中B的含量为0.1~50原子%。
地址 日本东京都