| 发明名称 | 含金属化合物的纯化 | ||
| 摘要 | 提供使用连续萃取法纯化含金属化合物的方法。提供高纯度的含金属化合物，且所述含金属化合物适合用于沉积金属膜，特别是用于电子器件的金属薄膜。 | ||
| 申请公布号 | CN1854147A | 申请公布日期 | 2006.11.01 |
| 申请号 | CN200610074691.5 | 申请日期 | 2006.04.12 |
| 申请人 | 罗门哈斯电子材料有限公司 | 发明人 | D·V·舍奈－卡特喀特;M·B·鲍尔 |
| 分类号 | C07F19/00(2006.01);C07F3/00(2006.01);C07F5/00(2006.01);C07F7/00(2006.01);C07F9/00(2006.01);C07F3/02(2006.01);C07B63/00(2006.01) | 主分类号 | C07F19/00(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 沙永生 |
| 主权项 | 1.一种用于纯化含金属化合物的方法，所述方法包括以下步骤：提供包含一定量含金属化合物和杂质的组合物；用一定量的溶剂对该组合物进行连续萃取；从溶剂中收集含金属化合物；其中所述含金属化合物微溶于所述溶剂，所述溶剂的量不足以完全溶解所述量的含金属化合物。 | ||
| 地址 | 美国马萨诸塞州 | ||