| 发明名称 | 互连连接结构及相关制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种互连连接结构，其包括第一互连(M1)、第二互连(M2)和将第一互连(M1)与第二互连(M2)电连接的多个连接元件(V)。根据本发明，相对于所述互连的重叠定位(I)，多个连接元件(V)在侧面被构成在第一和第二互连的至少一个侧面区域(S)中，而中心区域(Z)没有连接元件(V)。这样，可以显著地改善所述连接结构的电迁移特性并且可以提高载流能力。 | ||
| 申请公布号 | CN1856877A | 申请公布日期 | 2006.11.01 |
| 申请号 | CN200480027948.0 | 申请日期 | 2004.09.08 |
| 申请人 | 英飞凌科技股份公司 | 发明人 | K·戈勒;R·温策尔 |
| 分类号 | H01L23/522(2006.01) | 主分类号 | H01L23/522(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘春元;梁永 |
| 主权项 | 1.互连连接结构，其包括被构成在第一互连平面中的第一互连(M1)；被构成在第二互连平面中的第二互连(M2)；将所述第一互连(M1)电连接到所述第二互连(M2)的多个连接元件(V)，其特征在于，相对于重叠的互连的重叠定位(I)，所述多个连接元件(V)在侧面被构成在所述第一和第二互连(M1，M2)的至少一个侧面区域(S)中，而中心区域(Z)没有连接元件(V)。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||