发明名称 |
用于装入微镜阵列的分段的方法 |
摘要 |
本发明涉及使用子像素分辨率来呈现高精度图像,可用适用于产生网线板和大面积掩模、直接写入图形和查看网线板或其他图形的工件。本发明的多个方面可以应用到SLM和扫描技术。本发明包括一种调制微镜阵列以建立和加强图像的方法。本申请公开了重叠区、保护区的使用、将多边形移动和重新定大小、使用两个分辨率级,表示区域、定义边、定位边和角。 |
申请公布号 |
CN1854890A |
申请公布日期 |
2006.11.01 |
申请号 |
CN200610080361.7 |
申请日期 |
2002.09.09 |
申请人 |
麦克罗尼克激光系统公司 |
发明人 |
托布乔恩·桑德斯特罗姆;马丁·奥尔森;珀·埃尔姆福斯;斯蒂芬·古斯塔夫森 |
分类号 |
G03F1/00(2006.01);G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G03F1/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
黄小临;王志森 |
主权项 |
1.一种用于装入微镜阵列的分段的方法,包括:利用并行操作的多个呈现处理器来呈现多个多边形;向缓冲器写入对应于被呈现的多边形的数字值,所述缓冲器具有对应于多个呈现处理器的多个区域,并且具有多个分段;从缓冲器分段之一向具有模拟输出的一组数模转换器重复写入数字值;并且在微镜阵列分段之间重复地转换模拟输出。 |
地址 |
瑞典泰比 |