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发明名称 A multi-pipe for installation to semiconductor or LCD production
摘要
申请公布号 KR100639150(B1) 申请公布日期 2006.10.30
申请号 KR20040086949 申请日期 2004.10.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/20 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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