发明名称 VORRICHTUNG AUF BASIS VON PARTIELL OXIDIERTEM PORÖSEN SILIZIUM UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE50305038(D1) 申请公布日期 2006.10.26
申请号 DE20035005038 申请日期 2003.03.28
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DERTINGER, STEPHAN;FRITZ, MICHAELA;FUCHS, KARIN;HANEDER, THOMAS;LEHMANN, VOLKER;MARTIN, ALFRED;MAERZ, REINHARD
分类号 B01L3/00;B01J19/00;C30B33/00;C40B40/06;C40B40/10;C40B60/14;G01N33/543 主分类号 B01L3/00
代理机构 代理人
主权项
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