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Ein kapazitiver Feuchtigkeitssensor weist auf: ein Feuchtigkeitsfühlerelement (11); ein Substrat (1) und eine Isolationsschicht (3). Das Feuchtigkeitsfühlerelement (11) weist ein Paar von kammförmigen Elektroden (11a, 11b) und eine feuchtigkeitsempfindliche Schicht (4r) auf. Die kammförmigen Elektroden (11a, 11b) werden von einem Damm (3), der durch einen Teil der Isolationsschicht (3) bereitgestellt wird, umgeben. Die Isolationsschicht (3) auf den kammförmigen Elektroden (11a, 11b) weist eine erste Höhe auf. Der Teil der Isolationsschicht (3) auf dem Damm (3) weist eine zweite Höhe auf, die höher als die erste Höhe ist. Die feuchtigkeitsempfindliche Schicht (4r) weist eine Höhe auf, die gleich oder niedriger als die zweite Höhe ist, und ist innerhalb des Damms (3) angeordnet. Der Damm (3) beinhaltet ferner ein erstes Ringmuster (11r), das aus einem gleichen Material wie die kammförmigen Elektroden (11a, 11b) hergestellt ist.
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