| 发明名称 | 接合器、以及使用其的半导体测试装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种接合器(100)，其设置于测试头(13)上，用于将探针卡(10)连接到该测试头(13)上，所述接合器(100)包括：接合器主体(1)；支撑在该接合器主体(1)上的同轴连接器(2)；以及偏置机构(3)，所述偏置机构(3)被支撑在接合器主体(1)上，在同轴连接器(2)与设置于探针卡(10)上的对方同轴连接器(15)相嵌入连接的状态下，将探针卡(10)向松开嵌入连接的方向偏置。 | ||
| 申请公布号 | CN1851476A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200610075855.6 | 申请日期 | 2006.04.24 |
| 申请人 | 安捷伦科技有限公司 | 发明人 | 后藤明彦 |
| 分类号 | G01R1/06(2006.01);H01R13/631(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R1/06(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 1.一种接合器，其设置在测试头上，用于在该测试头上连接探针卡，所述接合器包括：接合器主体；同轴连接器，其被支撑在所述接合器主体上；偏置装置，其被支撑在所述接合器主体上，在所述同轴连接器与设置于所述探针卡上的对方同轴连接器相嵌入连接的状态下，将所述探针卡向松开所述嵌入连接的方向偏置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||