一种投影物镜光学系统

摘要

一种投影物镜光学系统，包括：一个光轴；一个凹面球面反射镜；一组具有正光焦度的透镜组；一对棱镜，所述具有正光焦度的透镜组和一对棱镜提供对光谱中g，h，i三线波长的色差校正。本发明的投影光学系统能在大视场、宽光谱照明的条件下，具有很好的成像质量，能达到较小的分辨率(最小可分辨2μm)，能得到大焦深，并保证物方平面与像方平面的平行性，有效降低整机设计的技术风险。

主权项

1、一种投影物镜光学系统，其特征在于，所述光学系统包括：一个光轴；一个凹面球面反射镜；一组具有正光焦度的透镜组，与球面反射镜间隔一定的距离；按照离反射镜从远到近的距离排列，包括：一个第一平凸透镜，凸面朝向反射镜，平面背向反射镜；一个弯月形负透镜，与第一平凸透镜相邻，并间隔一段距离，具有凹面和凸面，其凹面朝向第一平凸透镜的凸面，其凸面朝向反射镜；一个正透镜，具有凹面和凸面，其凹面朝向相邻弯月形负透镜，凸面朝向反射镜；一个双凹负透镜，与正透镜间隔一段较大距离，其中一个凹面朝向正透镜，另一凹面朝向反射镜；一个第二平凸透镜，平面朝向双凹负透镜，凸面朝向反射镜；一对棱镜，每一个棱镜都具有相应的第一和第二平面，第二平面与第一平凸透镜的平面按照与光轴相反的方向紧密接触，而第一平面则分别朝向物方平面和像方平面；所述具有正光焦度的透镜组和一对棱镜提供对光谱中g，h，i三线波长的色差校正。