| 发明名称 | 用于半导体设备具有调节长度功能的举升装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及微电子技术领域，具体涉及将半导体晶片从位于半导体加工室内的晶片座中举升的机械装置。本发明公开的一种用于半导体设备具有调节长度功能的举升装置，包括套筒、套筒内的升针，还包括气缸，安装在气缸的活塞杆上的卡盘以及可调节地连接到卡盘上的直线往复传动机构。本发明结构简单，安装简便灵活，不仅能够很好地完成晶片的提升或落下，也可方便地调节举升装置的长度，维护起来也很方便。 | ||
| 申请公布号 | CN1851899A | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN200510126387.6 | 申请日期 | 2005.12.08 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 国欣 |
| 分类号 | H01L21/687(2006.01) | 主分类号 | H01L21/687(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 蔡世英 |
| 主权项 | 1、一种用于半导体设备具有调节长度功能的举升装置，包括套筒(2)、套筒内的升针(1)，其特征在于还包括气缸(8)，安装在气缸(8)的活塞杆上的卡盘(7)以及可调节地连接到卡盘(7)上的直线往复传动机构。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||