亜鉛、スズおよび酸素から実質的になる酸化物のエッチング液およびエッチング方法

摘要

本発明は、亜鉛、スズおよび酸素から実質的になる酸化物のエッチングにおいて好適なエッチングレートを有し、該酸化物の溶解に対してエッチングレートの変化が小さく、かつ析出物の発生がなく、しかも配線材料への腐食性が無視できる程度に小さいエッチング液を提供する。本発明では、（Ａ）硫酸、メタンスルホン酸、およびこれらの塩からなる群より選ばれる1種以上と水を含み、ｐＨ値が−１〜３であるエッチング液を用いる。