| 发明名称 | 观察半导体零件的装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种观察半导体零件的装置，它包括一观测装置及一观测平台。本发明的特点是所述观测装置具有一放大倍率，且所述放大倍率在四佰内，以及一可移动的观测平台，连接所述观测装置，用来放置一半导体零件，借以观察所述半导体零件。本发明除了克服现有技术中放大倍率过小、调整不易的缺点外，另将载物台设计成可移动的结构，并增加所述载物台的耐重度，以利调整欲观察对象的观测位置，且造价便宜。 | ||
| 申请公布号 | CN1282235C | 申请公布日期 | 2006.10.25 |
| 申请号 | CN01116634.7 | 申请日期 | 2001.04.17 |
| 申请人 | 华邦电子股份有限公司 | 发明人 | 陈廷国;俞笃豪;黄启业;黎明舜 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 任永武 |
| 主权项 | 1.一种观察半导体零件的装置，其特征在于，它包括：一观测装置，具有一倍率与一电荷耦合装置，所述倍率在四佰之内；以及一可移动的观测平台，它连接所述观测装置，具有一固定架，用来放置一半导体零件，借以观察所述半导体零件；其特征在于，所述固定架具有数个关节，使整组电荷耦合装置及目镜装置部分可任意旋转及伸展收缩，以利物体三维空间的放大处理。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市新竹科学工业园区研新三路4号 | ||