分体式金属有机物化学气相淀积反应器

摘要

一种用于半导体材料制备的分体式金属有机物化学气相淀积反应器，反应器本体由下至上依次由下盖部件、下室体、上室体、上盖部件密封组合而成，下室体装在密封手套操作箱的底板上，下室体、上室体、上盖部件处在手套操作箱中，上盖部件、上室体、下盖部件的一侧设有直线导轨副，上室体和下盖部件同可驱动其分别作垂直升、降移动的驱动机构相连接，上盖部件一侧装有翻盖机构且该翻盖机构8同翻盖驱动机7构连接。本装置具有工艺装片、取片方便，反应器内部零部件可在不接触空气的条件下清洗，再生产工艺易于恢复，可节约大量工艺恢复资金和时间。

主权项

1、一种分体式金属有机物化学气相淀积反应器，有内腔为反应室的反应器本体，其特征是，所述反应器本体由下至上依次由下盖部件(4)、下室体(3)、上室体(2)、上盖部件(1)密封组合而成，所述下室体(3)固定安装在与机架相连的密封手套操作箱(9)的底板上，所述下室体(3)、上室体(2)、上盖部件(1)处在装有操作手套的手套操作箱(9)中，所述上盖部件(1)、上室体(2)、下盖部件(4)的一侧设有直线导轨副(5)，上室体(2)和下盖部件(4)同可驱动其沿所述直线导轨副(5)相对下室体(3)分别作垂直升、降移动的驱动机构(6)相连接，上盖部件(1)一侧装有翻盖机构(8)且该翻盖机构(8)同翻盖驱动机构(7)连接。