| 主权项 |
1.一种使3D被镀物膜厚均匀分布之镀膜方法,其系于真空离子镀膜时,设一可由外力传动的公转轴,公转轴上加装旋转盘,旋转盘内设置夹持载具,以夹持受镀物,夹持载具藉由卡套装置卡套于旋转盘中,于旋转盘及夹持载具两者接触面预留活动间隙,藉由调整两者接触面的摩擦系数,以降低夹持载具本身的摩擦力矩,并进而利用旋转盘转动时产生重心位移,产生偏心效应及惰性效应交互运作,而达到受镀物无需另设辅助动力装置,即能自旋,自动翻转均衡的接受离子镀膜源加以镀膜。2.如申请专利范围第1项之使3D被镀物膜厚均匀分布之镀膜方法,其中以摩擦力矩L=F.r及转动惯量:I=M.r2,其中力矩L必需小于转动惯量I乘以转动加速度,而其调整方式为利用平滑旋转盘与夹持载具之两者接触面,以降低摩擦系数,并加重载具之质量M为主要方法。3.如申请专利范围第1项之使3D被镀物膜厚均匀分布之镀膜方法,接触面孔隙可随须求极小化至仅供旋转载具旋动即可,因此可以增大产能。4.如申请专利范围第1项之使3D被镀物膜厚均匀分布之镀膜方法,其中夹持载具的卡套装置,可以为环状、块状卡环,或以夹持载具利用不同直径之轴杆,加以卡套于旋转盘的载具孔中即可。5.如申请专利范围第1项之使3D被镀物膜厚均匀分布之镀膜方法,其中公转轴方向与夹持载具转轴平行,而将旋转盘含设复数载具孔,以环状或复数环状配置,并加以平滑,降低其摩擦系数,另以载具轴杆亦加以平滑,降低摩擦系数,并于载具轴杆设计卡套装置,以套设于旋转盘的载具孔中,而可以自行转动,不虞掉落。6.如申请专利范围第1项之使3D被镀物膜厚均匀分布之镀膜方法,其中公转轴方向与夹持载具转轴垂直,因此旋转盘系以内、外环状双层或多层结构设置;设置时,以内、外环均设配合之载具孔,用以稳定套设夹持载具,夹持载具亦同样设有卡套装置,除载具孔加以平滑降低摩擦系数外,亦同时平滑卡套装置与旋转盘之接触面,以减少摩擦所造成的阻力,此法可以利用复数个旋转盘,并合于台车上,以利于一次大量镀膜之用。7.如申请专利范围第1项之使3D被镀物膜厚均匀分布之镀膜方法,其中公转轴之方向,可以为水平方向,亦可为重直于水平的方向。图式简单说明:第一图系为真空离子镀膜锅炉配置图。第二图系本创作自旋效应示意图。第三图系本创作实施例之一立体图。第四图系本创作之平行转轴旋转盘具体实施例。第五图系本创作垂直转轴旋转盘具体实施例。第六图系刀具类夹持载具实施例示意图第七图系钻头类夹持载具实施例。 |
