发明名称 |
Optisches Bauteil aus Quarzglas, Verfahren zur Herstellung des Bauteils und Verwendung desselben |
摘要 |
<p>Um ein optisches Bauteil aus Quarzglas zur Verwendung in einem Projektionsobjektiv für die Immersions-Lithographie mit einer Arbeitswellenlänge unterhalb von 250 nm bereitzustellen, das für den Einsatz mit linear polarisierter UV-Laserstrahlung und insbesondere hinsichtlich Kompaktierung und durch anisotrope Dichteänderung induzierte Doppelbrechung optimiert ist, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Quarzglas die Kombination mehrerer Eigenschaften aufweist: insbesondere eine Glasstruktur im Wesentlichen ohne Sauerstoffdefektstellen, einen mittleren Gehalt an Hydroxylgruppen von weniger als 60 Gew.-ppm, einen mittleren Gehalt an Fluor von weniger als 10 Gew.-ppm, einen mittleren Gehalt an Chlor von weniger als 1 Gew.-ppm. Ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen optischen Bauteils umfasst folgende Verfahrensschritte: Herstellen und Trocknen eines SiO¶2¶-Sootkörpers unter reduzierenden Bedingungen und Behandeln des getrockneten Sootkörpers vor oder während des Verglasens mit einem Reagenz, das mit Sauerstoff-Fehlstellen der Quarzglasstruktur reagiert.</p> |
申请公布号 |
DE102005017752(A1) |
申请公布日期 |
2006.10.19 |
申请号 |
DE20051017752 |
申请日期 |
2005.04.15 |
申请人 |
HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG |
发明人 |
KUEHN, BODO;OCHS, STEFAN;KAISER, STEFFEN;KASSUBE, DENIS |
分类号 |
G02B1/00;C03C3/06;G02B13/00 |
主分类号 |
G02B1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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