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发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Materialien mit einstellbaren Eigenschaften und Ätzcharakteristiken
摘要
申请公布号
DE112004001026(T5)
申请公布日期
2006.10.19
申请号
DE200411001026
申请日期
2004.08.18
申请人
TOKYO ELECTRON LTD.
发明人
FUKIAGE, NORIAKI
分类号
C23C16/509;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/027
主分类号
C23C16/509
代理机构
代理人
主权项
地址
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