发明名称 ACTUATOR ARRANGEMENT FOR ACTIVE VIBRATION ISOLATION USING A PAYLOAD AS AN INERTIAL REFERENCE MASS
摘要
申请公布号 EP1711724(A1) 申请公布日期 2006.10.18
申请号 EP20050702670 申请日期 2005.01.14
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 WARMERDAM, THOMAS, P., H.;VERVOORDELDONK, MICHAEL, J.
分类号 F16F15/027;B60G17/015;F16F15/03;G03F7/20 主分类号 F16F15/027
代理机构 代理人
主权项
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