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发明名称 Silicon nitride thin film for optical device and fabrication method thereof
摘要
申请公布号 EP1548904(B1) 申请公布日期 2006.10.18
申请号 EP20040018719 申请日期 2004.08.06
申请人 ELECTRONICS AND TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 PARK, NAE MAN;KIM, TAE YOUB;SUNG, GUN YONG
分类号 H01L33/00;H01S3/063;H01S3/16 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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