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发明名称 VIEW PORT OF CHAMBER FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060108446(A) 申请公布日期 2006.10.18
申请号 KR20050030830 申请日期 2005.04.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, SEUNG JO
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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