| 发明名称 | 正型光刻胶组合物及光刻胶图案形成方法 | ||
| 摘要 | 提供一种提高正型光刻胶组合物显影速度的手段，所述的组合物含有光敏酚醛清漆树脂，其是通过用1，2－萘醌二叠氮磺酰基取代碱溶性酚醛清漆树脂的所有酚式羟基的那些氢原子中的一些氢原子而形成的。该手段是一种正型光刻胶组合物及使用该组合物形成光刻胶图案的方法，该组合物含有溶解于(B)丙二醇烷基醚乙酸酯的(A)光敏酚醛清漆树脂，其中所述碱溶性酚醛清漆树脂的所有酚式羟基的那些氢原子中的一些氢原子被1，2－萘醌二叠氮磺酰基所取代。 | ||
| 申请公布号 | CN1849559A | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200480026115.2 | 申请日期 | 2004.08.19 |
| 申请人 | 东京应化工业株式会社 | 发明人 | 增田靖男;奥井俊树 |
| 分类号 | G03F7/023(2006.01) | 主分类号 | G03F7/023(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 程金山 |
| 主权项 | 1.一种正型光刻胶组合物，其是通过将(A)包含碱溶性酚醛清漆树脂的光敏酚醛清漆树脂溶解于(B)含有丙二醇烷基醚乙酸酯的有机溶剂而形成的，其中所述碱溶性酚醛清漆树脂的所有酚式羟基的那些氢原子中的一些氢原子被1，2-萘醌二叠氮磺酰基所取代。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||