| 发明名称 | 一种半导体刻蚀设备的故障检测方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及自动控制领域。本发明提出一种半导体刻蚀设备的故障检测方法，其关键是比较待检测的刻蚀成品的图像与标准图像之间的差异程度，从中判断刻蚀设备是否出现故障。本发明的半导体刻蚀设备的故障检测方法的优点和积极效果在于：可以自动把异常时工艺参数图像与标准工艺参数图像作对比检测出系统故障，解决现有技术中采用人工比较的方法检测刻蚀机系统参数异常问题，提高故障检测的速度和准确性。 | ||
| 申请公布号 | CN1848370A | 申请公布日期 | 2006.10.18 |
| 申请号 | CN200510126301.X | 申请日期 | 2005.12.05 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 李荣甫 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人 | 向华 |
| 主权项 | 1、一种半导体刻蚀设备的故障检测方法，其特征在于包括以下步骤：(1)获得刻蚀成品的标准图像；(2)比较待检测的刻蚀成品的图像与标准图像之间的差异程度；(3)从待检测的刻蚀成品的图像与标准图像之间的差异程度判断刻蚀设备是否出现故障。 | ||
| 地址 | 100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号 | ||