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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100636486(B1) 申请公布日期 2006.10.18
申请号 KR20047020553 申请日期 2003.06.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/336;C23C16/02;C23C16/40;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/335;H01L29/51;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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