发明名称 |
α射线测定装置和α射线测定方法 |
摘要 |
一种使用能量分辨率高的半导体检测元件而能以短时间高精度地对由试料放出的极微量α射线进行能量分析的α射线测定装置,由含有多个半导体检测元件的α射线检测器、使各自的半导体检测元件的输出信号相加的加法器、对各自的半导体检测元件的输出信号进行逆同时计数的逆同时计数器、根据未进行逆同时计数的半导体检测元件的相加输出信号分析α射线能量分布的波峰分析器构成。由于使多个半导体检测元件的输出信号相加并扩大测定试料面积的同时也除去背景噪声,所以既能缩短测定时间,又能更高精度地分析α射线能量。 |
申请公布号 |
CN1847884A |
申请公布日期 |
2006.10.18 |
申请号 |
CN200610059888.1 |
申请日期 |
2004.03.22 |
申请人 |
株式会社日立制作所 |
发明人 |
涉谷彻;海原明久 |
分类号 |
G01T1/24(2006.01);H01L31/09(2006.01) |
主分类号 |
G01T1/24(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
朱丹 |
主权项 |
1.一种α射线测定装置,其特征是,包括:α射线检测器,含有多个半导体检测元件;加法器,将各自的半导体检测元件的输出信号相加;和波峰分析器,根据半导体检测元件的相加输出信号分析α射线的能量分布。 |
地址 |
日本东京都 |